JIS B9922:2001 クリーンベンチ Clean work station
1. 適用範囲
この規格は，送風機及びHEPAフィルタ又はULPAフィルタを内蔵し，作業空間を一定の空気清浄度（以下，清浄度という。）に維持するクリーンベンチ(1)について規定する。ただし，作業空間が負圧となる構造のものには適用しない。
注(1) トンネルユニット，ファンフィルタユニット及びクリーンブースについても適用できる。 なお，ファンフィルタユニットについては，附属書（規定）による。
2. 引用規格
次に掲げる規格は，この規格に引用されることによって，この規格の規定の一部を構成する。これらの引用規格は，その最新版（追補を含む。）を適用する。 JIS B 8330 送風機の試験及び検査方法
JIS B 8346 送風機及び圧縮機−騒音レベル測定方法
JIS B 9920 クリーンルーム中における浮遊微粒子の濃度測定方法及びクリーンルームの空気清浄度の評価方法
JIS B 9921 光散乱式自動粒子計数器
JIS C 1302 絶縁抵抗計
JIS C 1502 普通騒音計
JIS C 1505 精密騒音計
JIS C 1510 振動レベル計
JIS C 1609 照度計
JIS T 8202 一般用風速計 JIS Z 8122 コンタミネーションコントロール用語 JIS Z 8731 環境騒音の表示・測定方法 JIS Z 8901 試験用粉体及び試験用粒子
3. 定義
この規格で用いる主な用語の定義は，JIS Z 8122によるほか，次による。
a) 作業空間 清浄作業を行う空間で，空気吹出し面から作業面までの空間。
b) 主エアフィルタの走査漏れ試験 HEPAフィルタ又はULPAフィルタの面のピンホール，エアフィルタとエアフィルタ取付け枠との接着部の接着不良，エアフィルタの取付け不良などによって生じたエアロゾルの漏れの部位を探すこと。具体的には，上流側粒子濃度に対する下流側粒子濃度で判定するが，クリーンベンチの空気取入れ口の粒子濃度に不足があるときは，大気じんにJIS Z 8901における試験用粒子2の1種に規定する粒子を加えて供給し，エアフィルタ下流側の全域をJIS B 9921に規定する光散乱式自動粒子計数器のプローブを走査して試験するか，光散乱式濃度計を使用して試験することもできる。
c) ファンフィルタユニット 一つのケーシング内に，ファン，電動機及びフィルタを内蔵する空気清浄装置。
d) トンネルユニット ファンフィルタユニットを作業空間の上部に多数連結してライン形ユニットとし，この二つのラインを対向させて設置し，これらファンフィルタユニットの背面にパネルを取り付け，中央には作業者移動用の清浄空間帯を設け，トンネル状の連続した作業空間を形成した空気清浄装置。
e) クリーンブース 天井には，1個又は複数個のファンフィルタユニットを配し，周囲にはプラスチックカーテン又は簡易なパネルを取り付け，清浄空気を一方向流又は非一方向流で供給し，カーテン又はパネルと床とのすきまから吹流して，清浄空間を作る空気清浄装置。
f) 定格風速 定格電圧，定格周波数でクリーンベンチを運転した際の，製造業者が設定した風速の値。 g) 定格風量 定格電圧，定格周波数でクリーンベンチを運転した際の，製造業者が設定した風量の値。

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